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| 产品名称：快速退火炉（保护气氛热处理炉） |
电话:0086-020-85548717 |
联系人:陈正 |
| 品 牌：Allwin21 |
厂 商：Allwin21 |
型 号：快速退火炉 (保护气氛 |
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产品介绍：
Allwin21 Corp （www.allwin21.com） 是一家总部设在美国硅谷的专业半导体设备与技术服务公司。我公司可提供全新的或翻新的快速退火炉或保护气氛热处理炉Heatpulse AG610 、AG4100 、AG8108系列用于退火工艺或热处理工艺; 去胶（打胶）机 GASONICS AURA 1000系列; AE 2001 AE 2000LLL; 去胶（打胶）机MATRIX 105/106/303/403系列 ;及TEGAL 901/903 等离子刻蚀机;EG2001/2010/1034探针台;HP4062/HP4145测试仪;AW-PCM测试软件.
联系人：陈经理 13728084374 或 020-85548717
AG Heatpulse 610快速退火系统是AG公司的第二代产品，因其优良的温度控制性能、低廉的价格，目前仍受到半导体器件研制开发机构及生产厂家的钟爱，广泛地应用于半导体器件研发及生产等领域。
■ 优越的工艺控制： ■ 工艺用途：
• 单片，闭环温度控制； • 离子注入后快速退火；
• 精确的温度控制部件可适用于特殊工艺要求； • 欧姆接触快速合金；
• 快速升温与降温控制； • 硅化物合金退火；
• 工艺重复性高。 • 氧化物生长；
• 其它快速热处理工艺。
■ 同一般管式高温炉的比较：
• 一般管式高温炉只能设定一个工艺条件（即一个温度条件）；工艺周期长，使用不够灵活；须24小时加电恒温，能耗较高，不适用于生产。
• AG610系列快速退火炉，可以设定多个工艺条件（即多种温度条件）；工艺时间短，使用非常灵活；能耗低；同一台设备既可用于生产，也可用作科研，且任何科研工艺条件不会对生产工艺造成影响。 |
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| 供应商: |
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企业类型：生产企业 |
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